CPD-1000

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高速ディスペンサー（半導体関連装置）

超高速塗布

業界トップクラスの塗布スピード(0.07sec/shot)を実現

高精度塗布

信頼性の高い装置構造により安定した高精度塗布を継続

高柔軟性

豊富なオプション構成により多様な塗布ニーズに対応

主な仕様

対象基板寸法 50×50～460×360mm(～510×460mm (VL))　t＝0.5～4.0mm
シリンジ 容量30cc
ヘッド構成 3ヘッド(1ヘッド,2ヘッド仕様はオプション)
ノズル種類 2点、1点、Wフロー工程用2点、非接触ノズル等
塗布精度 ±0.10mm(アライメントマーク基準時)
塗布タクト 0.07秒/shot(最適条件時)
塗布方向 0°±90°（1°単位）
塗布方式 エアーパルス式
基板位置決め アライメントマーク認識方式(標準)
ＯＳ/ 制御ＯＳ Windows7 / Microsoft INtime4.01
使用空圧源 0.5MPaクリーンエア(消費量40Nl/min)
電源・電力 単相200,220,230,240V ±10%以内　50/60Hz 3.0kVA.

寸法図

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